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光刻胶 |
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opolymer光刻胶是基于MMA和8.5%甲基的混合物。Copolymer(8.5) MAA并PMMA光刻胶堆叠,是常用在双层剥离工艺实现立CD控制。标准Copolymer光刻胶被配制在乳酸乙酯和可提供宽范围的粘度(薄膜厚度)。所有PMMA和Copolymer光刻胶的包装:从500毫升到20升。
相关溶液:
1)显影液:MIBK:IPA
2)去胶剂:Remover PG
3)稀释剂:A Thinner
一般储存温度:
10-27℃
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