郑科探小型溅射仪KT-1650PVD如何安装

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郑科探小型溅射仪KT-1650PVD如何安装

KT-1650PVD 小型溅射仪使用指南
1、 、 所需配套设备：小型溅射仪，水冷机，真空泵，高纯氩气
2、 、 配套设备安装准备工作
水冷机： ：（此设备为选配配件）本公司配备水冷机型号 JZ-3000.进出水口接
口为6mm 快插接头，配套 6 米透明 PU 管，外径 6mm 内径 4mm 加水 6 升。建
议加入纯水、去离子水，如没有条件加入自来水也可。
若自行准备水冷机，请匹配合适接头
安装方法：将设备背面进出水口连接设备背面进水口，公司标配 6m 透明 PU 管，
可根据现场实际情况进行裁剪。（设备背面接口无进出水口之分，可任意接）
真空泵： ：（ （此设备为选配配件）本公司所配备的是 8m³/h（2.2L/s），KF25
标准接口，及1200mm 长波纹管。
若自行配备真空泵，请匹配合适大小接头及波纹管
安装步骤
把加油口打开，并将随货的一壶油全部倒入加油口（油量会超过高刻度，属正
常现象）
将出气口打开，可根据现场实际情况自行安装油雾过滤器或者出气管道排到室外
或者通风橱。注：出气口需保持畅通状态，不可堵塞
进气口连接波纹管，与溅射仪左侧真空挡板阀连接。
高纯氩气：小型溅射仪工作中需要用到高纯氩气，所以需要自行准备高纯
氩气。本公司配备的管道为外径6mm 内径 4mm 聚四氟管道，请匹配合适的减
压阀及进气接头。设备进气压力为不大于0.1MPa。
设备安装及准备工作：
将白色聚四氟管道如上图安装至设备背面进气口，并用扳手锁紧
配件安装：
靶材：直径2英寸，厚度0.3mm-3mm
靶材的安装：
先分别取下屏蔽罩、靶材压环、靶材，将需要的靶材和靶材压环紧紧贴住，
用3颗螺丝错开锁紧压环，拧上屏蔽罩。屏蔽罩距离靶材压环距离3mm 左右，
不可将屏蔽罩与靶材压环接触，以免造成设备短路
安装基底：
分别取下玻璃罩和样品台，将衬底固定到样品台上，固定好的样品水平放置
在基底座上面，并且三个齿轮要相互咬合，后放好玻璃罩，盖好上盖。
使用前检查：
1、检查水箱里面是否有水打开冷水机电源，检查水冷接口是否连接好，观察
有没有漏水的现象（正常情况不漏水一个月检查一次）
2、真空泵的油箱值是否在 min 和 max 之间（油有没有发黄，发黄说明油有
杂质需要刚换），
3 、氩气压力值是否在0.1MPa 以下，
4、 、打开溅射仪电源，点击挡板打开按键，观察腔体内样品台是否旋转顺畅，
如有卡顿及时按下挡板复位按键。
： 溅射流程： 溅射操作定要打开水冷
顺时针关闭气体调节阀和放气阀，旋转真空泵手柄至大值，打开真空泵开
关，视线关注触摸屏上的真空度是否有变化，如果无变化，将手往下压住腔体密
封上盖（不要用力过大），再查看真空度直到下降至2Pa以下，旋钮气体调节阀
到稳定到4Pa左右，并保持5分钟使腔体内部充满氩气，开始溅射。
手动模式：设置样品台转速在0-8r/min，若不需要旋转可设置为0，点击挡
板复位按钮，使挡板遮挡基底。设置溅射电流，时间需要自己计时，溅射完成后，
点击停止运行，并点击挡板停止旋转（此时不需要挡板复位）。如果想自己探索
溅射速率，及时记下溅射电流、电压、功率和时间。
自动模式：预溅射1：清除靶材上的杂质。预溅射2：升温，稳定电流
设置预溅射时间和电流（T1 和 T2），然后设置沉积的时间和电流（T3）
溅射电流根据靶材不同设置电流不同，观察溅射电压和溅射功率的值，溅射
电压通常在315V 以上，好溅射效果在 330V-340V 范围内。（若电压上不去，
可将靶材拆下，用细砂纸打磨靶材背面和溅射靶材座，使他们良好接触（时间长
会氧化））
界面操作完成后，先关闭气体调节阀和真空泵手柄，再逆时针旋转放气阀，
平衡内外气压，打开玻璃罩上盖，取出样品台，拿下样品。
关闭水源、真空泵、溅射仪，后关闭电源总开关。