仪器仪表配件特殊仪器仪表配件杜邦EKC的EKC830 免费发布特殊仪器仪表配件信息

杜邦EKC的EKC830

更新时间:2025-02-16 13:34:23 编号:fa24d34esd2579
分享
管理
举报
  • 面议

  • EKC830,杜邦,光刻胶去除

  • 7年

石金良

15396145919 2047237607

0592-6013840

微信在线

产品详情

杜邦EKC的EKC830

关键词
光刻胶
面向地区
规格
其它
结构型式
分立式
显示方式
指针式

 集成电路是整个信息产业的基础,是实现中国制造 2025 的关键,而图形化工艺又是集成电路制造的核心工艺。光刻胶去除是图形化工艺中的关键技术,其中光刻胶去除剂是决定光刻胶去除甚至图形化工艺*终良率及可靠性的关键材料[1]。

 

按照摩尔定律,集成电路关键尺寸每两年缩小0.7 倍。其金属互联尺寸也相应降低。为了降低电阻、寄生电容等,集成电路后段金属互联先后采用铝硅铜、铝铜以及铜互连工艺,其线宽从微米级、亚微米逐渐发展到纳米级。集成电路关键尺寸越小,其对光刻胶去除能力、缺陷控制、关键尺寸、金属离子污染越来越敏感,这就要求在光刻胶去除技术上进行创新,满足日益增长的需求。

 

文章按照集成电路发展时间节点以及图形化工艺变化为主线,深入浅出地介绍了光刻胶去除技术发展趋势,并指出我国光刻胶去除技术发展现状,为进一步发展提供借鉴意义。

 

 

 

2 *代溶剂类光刻胶去除技术

 

 1970 年代到 1980 年代,集成电路关键尺寸在微米级以上。集成电路后段工艺对金属连线尺寸变化、侧掏等容忍度较高,湿法蚀刻以其高蚀刻速率、低成本、容易操作等优点,在市场是占主导地位。如采用混酸工艺对铝硅铜金属线进行刻蚀形成图形。

 

在图形化工艺中,采用酚醛树脂类 g-line 光刻胶形成图形,经过湿法蚀刻后光刻胶保持良好。在此阶段,要求光刻胶去除剂具有的有机大分子去除能力。溶剂类光刻胶去除剂不含有水,有机胺组分提供一定的光刻胶骨架聚合物裂解能力,组分有机溶剂 NMP(N-甲基吡咯烷酮)、DMSO(二甲亚砜)等按照相似相容原理溶解有机残留进行光刻胶去除。典型的是 ACT CMI 系列,Avantor 的 PRS3000,杜邦 EKC 的 EKC830 等。其操作温度基本在 80℃ 以上,甚至部分在闪点以上温度进行操作。至今,该类光刻胶去除剂仍然有一定的*。


留言板

  • EKC830杜邦光刻胶去除光刻胶
  • 价格商品详情商品参数其它
  • 提交留言即代表同意更多商家联系我

详细资料

主营行业:特殊仪器仪表配件
公司主营:pti粉尘DMT KSL,日本狮力昂UV膜,KNF GE 美国海诺威,杜克
主营地区:中国
企业类型:有限责任公司(自然人独资)
注册资金:人民币500000万
公司成立时间:2018-03-19
经营模式:生产型
最近年检时间:2018年
登记机关:厦门市湖里区市场监督管理局
经营范围:其他机械设备及电子产品批发;农业机械批发;汽车零配件批发;摩托车批发;摩托车零配件批发;五金产品批发;电气设备批发;计算机、软件及辅助设备批发;通讯及广播电视设备批发;金属及金属矿批发(不含危险化学品和监控化学品);非金属矿及制品批发(不含危险化学品和监控化学品);建材批发;化肥批发;其他化工产品批发(不含危险化学品和监控化学品);贸易代理;其他贸易经纪与代理;经营各类商品和技术的进出口(不另附进出口商品目录),但国家限定公司经营或禁止进出口的商品及技术除外;纺织品、针织品及原料批发;服装批发;鞋帽批发;化妆品及卫生用品批发;厨房、卫生间用具及日用杂货批发;灯具、装饰物品批发;家用电器批发;其他家庭用品批发;文具用品批发;体育用品及器材批发(不含弩);首饰、工艺品及收藏品批发(不含文物、象牙及其制品);其他文化用品批发;纺织品及针织品零售;服装零售;鞋帽零售;化妆品及卫生用品零售;钟表、眼镜零售;箱、包零售;厨房用具及日用杂品零售;自行车零售;其他日用品零售;文具用品零售;体育用品及器材零售(不含弩);珠宝首饰零售;工艺美术品及收藏品零售(不含文物、象牙及其制品);乐器零售;照相器材零售;其他文化用品零售;汽车零配件零售;摩托车零售;摩托车零配件零售;机动车燃料零售(不含成品油、车用燃气和其他危险化学品);家用视听设备零售;日用家电设备零售;计算机、软件及辅助设备零售;通信设备零售;其他电子产品零售;五金零售;灯具零售;家具零售;涂料零售;卫生洁具零售;木质装饰材料零售;陶瓷、石材装饰材料零售;其他室内装饰材料零售;互联网销售;其他未列明零售业(不含需经许可审批的项目);其他未列明服务业(不含需经许可审批的项目);其他未列明日用产品修理业;自行车修理;家具和相关物品修理;市场调查;其他未列明商务服务业(不含需经许可审批的项目);其他未列明批发业(不含需经许可审批的经营项目)。
公司邮编:361000
公司电话:0592-6013840
公司传真:0592-5783587
公司邮箱:yl0592@126.com
公司网站:www.xmliangxia.com
小提示:杜邦EKC的EKC830描述文字和图片由用户自行上传发布,其真实性、合法性由发布人负责。
石金良: 15396145919 让卖家联系我