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大型真空探针台

更新时间:2024-08-27 08:39:41 信息编号:f43smv7mdac994
大型真空探针台
98000≥ 1台
  • 98000.00 元

  • 郑科探

  • 探针台

  • 真空探针台,气敏探针台,高低温探针台,冷热真空探针台

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详情介绍

产品别名
高真空探针台,中型探针台,探针台,冷热型探针台
面向地区
全国
品牌
郑科探
类型
探针台

大型真空探针台

科研实验、半导体制造、航空航天真空压力气氛控制方案
针对用户提出的低气压试验箱中的真空度精密控制系统,以及1333Pa -133Pa / 133Pa-0.133Pa的宽域真空度控制范围,本文基于动态平街法提出了切实可行的决方案。决方案采用了上游控制和下游控制两路立的PID程序控制回路,基于不同量程的电容真空计,分别调节进气电动针阀和排气电动球阀,可实现各种低气压环境试验箱中真空压力控制。此解决方案已在多个真空领域得到应用,并可以达到+1%的控制。
真空压力气氛控制方案主要应用于半导体制造、科研实验、航空航天、仪器较准、真空炉和冶金、电子束和蒸发沉积、食品包装等行业。设备在高温、低温、不同气压及不同气氛环境下的真空测试。通过模拟不同环境来测试器件的电学性能参数。以达到在符合的气压、气氛条件下运输、使用的可行性。本文以1333Pa -133Pa/133Pa-0.133Pa压力下腔体内气氛环境的湿度测试为例,充分验证了该系统设备的可行性。
已知压力决定了这个空间能容下的大液体质量,所以要测试腔体内的气体浓度就需要改变腔体内的压力。测试气氛环境下的湿度,要确保进入腔室内的不同气体的比例以及湿度。这里我们需要用到气体配比器和气体湿度控制器,可以的控制进入气体的大小和气体加湿。
其次需要先计算出需要的压力范围内气体的质量。用理想气体定律公式
PV=nRT计算摩尔数,再由摩尔数计算气体的质量。由真空泵来达到更低的真空度,通过变送器来控制压力的大小。后使加湿过的气体通入到腔体内,测试器件的电学性能。此方案可以测试PPM甚至PPB级别的浓度。

郑州科探仪器设备有限公司 3年

  • 真空探针台,石英管真空封口机,小型蒸镀仪,真空加热腔
  • 河南郑州高新技术产业开发区西三环路

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