MEMS光开关是在硅晶上刻出若干微小的镜片，通过静电力或电磁力的作用，使微镜阵列产生转动，从而改变输入光的传播方向以实现光路通断的功能。MEMS光开关切换光波路由是通过外部控制信息以及相应的高低电平控制内部微镜片抬升与否来完成的。
可应用于MCS（多播交换光开关）
基于PLC技术及MEMS技术的多播交换光开关（MCS），是下一代可重构光分插复用系统（ROADM）的关键组成部分；每个功能单元由M个立的Splitter和N个立的MEMS光开关组成；提供N个上路（或下路）端口至M个方向的连接。
MEMS光开关可实现对全光网的远程控制，具有可集成化、功耗低、成本低的主要优势。MEMS光开关同时具备了机械式光开关的低插损、低串扰、低偏振敏感性、高消光比和波导开关的高开关速度、小体积、易于大规模集成的优点。各项性能足以满足DWDM全光网络的技术要求，将会是大容量交换光网络开关发展的主流方向。 MEMS器件单批产量高，经济性好，且器件与器件之间重复性好，为降低系统成本提供了更多的可能性。
MEMS光开关可应用于哪些领域
MEMS光开关及其阵列在现有光通信中的应用范围很广。其应用范围主要有：光网络的保护倒换系统，光纤测试中的光源控制、网络性能的实时系统、光器件的测试、构建OXC设备的交换核心，光插/分复用、光学测试、光传感系统等。
MEMS光开关与机械式光开关
机械光开关的工作原理是借助机械装置物理地移动光纤来重定向光信号。通过移动棱镜或定向耦合器，将输入端的光导向所需要输出的端口。机械式光开关分主要有3种类型：一是采用棱镜切换光路技术，二是采用反射镜切换技术，三是通过移动光纤切换光路。
而其中光开关是全光交换中的关键器件，可实现在全光层的路由选择、波长选择、光交叉连接以及自愈保护等功能。
