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定位系统 |
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数字精密电子定位系统
peps®II是在TMC的专利peps®(精密电子定位系统)基础上建立的并进行了改善。通过添加一个新的数字控制器使pep®II的使用更简单，提供了更多的功能，并且具有改进的用户界面。peps®II是用于TMC气浮隔振系统的数字式非接触高度控制系统。这种系统通常包含机械高度阀和机械高度传感装置，其应用范围从用于半导体制造设备提高沉降时间和增加产量，到要求优噪声性能和稳定的平台的精密实验室环境。
特性和好处
?数字控制，用户友好的LCD接口
?用于Gimbal Piston，CSP和Maxdamp的非接触式电动气浮高度控制隔振系统
?z轴位置重复性:10微米
?通过消除常规机械高度控制系统的杠杆接触点改善隔振性能
?气浮前馈功能使z轴对x - y轴运动的反应达到小化
?可选“VX”功能集成惯性传感器，用于垂直隔离器共振主动阻尼
?比例电子阀。通过使用“开关”或传统电子阀门无脉冲噪声引入
