现货租赁全配置KeysightB1500A半导体测试仪

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现货租赁全配置KeysightB1500A半导体测试仪

现货租赁全配置KeysightB1500A半导体测试仪佳捷伦
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现货租赁全配置KeysightB1500A半导体测试仪佳捷伦 Keysight 4155和4156 Keysight B1500A低电流测量的 安捷伦B1500A半导体 现货租赁全配置B1500A 安捷伦B1500A半导体
主要特性
B1500A主机有10个模块插槽，支持多个
源/监视单元 (SMU) 模块类型，如高分辨
率SMU(HRSMU)、中功率SMU(MPSMU)和
高功率 SMU (HPSMU)。用户可依据具体
器件测量要求自定义B1500A 的配置。
B1500A低至sub fA范围内的低电流测量主
要依赖于其下列特征:
– HRSMU 的电流测量分辨率为 1fA，测
量偏移为 15 fA。此外，HRSMU 兼容
可选的阿安测量与开关单元 (ASU)，
一起使用时，其低电流测量分辨率
能达到 100aA (0.1 fA)，而测量偏移可
达12fA。
– Keysight 采用 Kelvin 三轴电缆连接
B1500A 和半自动晶圆探针台，相比普
通三轴电缆，Kelvin 电缆产生的电子噪
声和泄漏更小。此外，Kelvin 三轴电缆
产生的电动势 (EMF) 也比普通三轴电缆
小。几乎所有晶圆探针台生产商使用
的连接板都支持Keysight的Kelvin三轴
电缆，因此不需要焊接或其它特别的
连接工艺。也就是说，用户无需担心焊
接中助溶剂或印油会产生泄漏路径。注
意：由于较短的测量电缆产生的固有泄
漏和噪声也较小，因此为达到佳低
电流测量，Keysight 推荐使用 1.5m 长
的 Kelvin 三轴电缆来连接 B1500A 和晶
圆探针台。
– B1500A 还具有零偏移和自校准功能，
能减少测量电缆和探针的固有偏移电流
和电压。这些功能还能够消除热效应和
EMF效应产生的误差，因此大大改善了
低电流测量。
有一些探针台的设计支持与 B1500A 的连
接。所有测量路径都做好了防护和屏蔽工
作，包括晶圆载物台 (衬底) 的连接。用户
能够测量表面泄漏和大容量泄漏，从而充
分利用B1500A的各项功能
二手租赁安捷伦B1500A

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