关键词 |
OSKAK |
面向地区 |
规格 |
其它 |
|
结构型式 |
分立式 |
显示方式 |
指针式 |
将电源控制器与分子泵一体化
■省电设计
■轻巧设计
■对应防护等级IP54
■多种通信接口
■对应国际规格
CE/NRTL/SEMI-S2
用途
・半导体制造设备
・FPD制造设备
・太阳能电池制造设备
・玻璃/镜片等光学元件加工
・薄膜加工
・加速器/宇宙环境模拟设备
| 型号※1 | TGkine1700M | TGkine2200M | |
| 吸气口法兰 | ISO-B200 VG200 | ISO-B250 VG250 | |
| 排气口法兰※2 | KF40/KF50 | ||
| 排气速度 | N2 (L/s) | 1650 | 2200 |
| N2 (附加金属保护网)(L/s) | 1570 | 2100 | |
| H2 (L/s) | 1550 | 1800 | |
| 大气体流量※3、※4 | N2 (sccm) | 4400 | 5000 |
| Ar (sccm) | 2600 | ||
| 大压缩比 | N2 | >2×108 | |
| H2 | 3×103 | ||
| 极限压力※5 | (Pa） | <2×10-7 | |
| (Torr） | <1.5×10-9 | ||
| 大排气口压力※6 | (Pa) | 220 | |
| (Torr） | 1.65 | ||
| 启动时间 | (min) | ≦10 | |
| 停止时间 | (min) | ≦10 | |
| 输入电压 | (V) | AC200-240V | |
| 相数 | 単相 | ||
| 频率 | (Hz) | 50/60 | |
| 电流 | (A) | Max. 5.3 | |
| 所需电力 | (kVA) | Max. 0.9 | |
| 重量 | (kg） | 65 | 62 |
※1：关于型号，请咨询销售人员。
※2：根据型号规格有所不同
※3：1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压)
※4：排气口的辅助压力是5000L/min情况下的数值。
主营业务：显影液、漂洗液、光刻胶、聚酰亚胺、冰箱储存、化学试剂、国产试剂、半导体材料、电子材料、锐材表面活性剂
代理美国PTI公司杂质颗粒尺寸分析试验、检测设备及各种试验粉尘。
代理德国DMT公司的符合IEC 60312标准的试验粉尘。 同时，公司还代理进口日本JIS标准试验粉尘。 满足国内汽车零部件、光纤，电子等行业企业的实验室以及一些立检测机构对于进口试验粉尘的需求。
厦门本地Gkine2200M热销信息
