产品别名 |
薄膜晶体制造LPE炉 |
面向地区 |
日本motoyama薄膜晶体制造设备LPE炉
LPE(液体,相位,外延)薄膜晶体制造设备在日本拥有100多个单位。它由垂直管式炉,旋转升降驱动轴和控制单元组成,控制单元具有的温度控制精度,可实现的薄膜晶体生产。
的均热特性
样品轴旋转升降驱动机构
也可以添加到现有的熔炉中(有限制)
惰性气体引入机制
液体接触电信号
排气罩
根据实际制造过程进行计算机自动操作控制(也可以中断手动操作)
通过预先输入过程详细信息,将以确定的值自动执行目的地,移动速度,旋转状态和旋转速度。
LPE薄膜晶体制造设备规格 | |
加热器容量 | 单相200V 2.3kW x 3个区域 |
加热室尺寸 直径x高度mm | φ280×H650毫米 |
常温 | 800℃〜900℃ |
高温度 | 1000℃ |
温度分布 | ±2℃(空气炉稳定在850℃时,φ100×H200mm的空间) |
温度波动范围 | ±0.2℃(空气炉稳定在850℃时,φ100×H200mm的空间) |
加热元件 | SSS加热器 |
芯管 | φ220×φ205×L800mm |
LPE熔炉驱动单元(样品轴)规格 | |
提升速度 | 20-300毫米/分钟 |
停止精度 | ±1mm以内 |
旋转方式 | 前进/后退 |
转速 | 20-300 rpm(带软启动) |
转速波动精度 | 在±1%FS之内 |