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氧气氮气空气气体质量流量控制器微小气体流量计

更新时间:2019-02-04 10:59:28 信息编号:257432970
氧气氮气空气气体质量流量控制器微小气体流量计
5400≥ 1个
  • 5400.00 元

  • 35-60℃

  • 中压式

  • 流量控制器,气体质量流量控制器

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详情介绍

产品别名
气体小流量计,小流量流量计,气体质量流量控制器,微小气体流量计
面向地区
工作温度
35-60℃
工作压力
中压式
公称通径
≥1400mm
加工定制
精度等级
B级
适用介质
高纯气体
类型
质量流量计

氧气氮气空气气体质量流量控制器微小气体流量计

气体质量流量控制器(Mass Flow Controller )/气体质量流量计(Mass Flow Metre)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
产品具有精度高、 重复性好、稳定性高、、工作压力范围宽、使用寿命长等特点。
MFC数字型质量流量计/控制器具有以下特点:
1.本地显示,高清晰液晶屏
2.数字、模拟量输入输出
3.上位机软件控制运行
4.极低零漂和温漂
5.多气体、多量程、、快反应
6.单电源供电:12-24VDC 1A流量控制器/流量计主要指标:
流量规格(N2): (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM;
(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100、200、300)SLM
控制范围: 2%~F.S / 0%~F.S
准确度: ±1%F.S / ±2%F.S
线性: ±0.5%F.S
重复精度: ±0.2%F.S
响应时间: ≤1Sec
工作压差范围: (0.05~0.3)MPa
大耐压: 10MPa
工作环境温度: 5~65℃
电气连接: 8 Pin(Mini S Plug)
输入/输出信号 Digital:RS232 / RS485 ;
Analog:(0~5) VDC / (4 ~20)mA
电源: 7~16VDC ;1A
标准接头: Swagelokφ3,φ6, φ10…;Swagelok 1/8″,1/4″…;
VCRφ3,φ6…;VCR 1/8″,1/4″…
外形尺寸 130*28*121mm
重量约 1.0kg/1.5kg

注意: 质量流量控制器出厂通常用氮气(N2)标定。
质量流量的单位规定 SCCM (标准毫升/分);
SLM (标准升/分) CCM (毫升/分);
LM (升/分)
标准状态规定 温度—273.15K (0℃)
气压—101325 Pa (760mm Hg) 温度—25℃
气压—101325 Pa
F.S (Full Scale) 满量程值
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