产品别名 |
主动隔振平台,主动振动隔离系统 |
面向地区 |
品牌 |
TMC |
|
设备类型 |
其它 |
粘合材料类型 |
其它 |
端口数 |
8口以下 |
发票 |
不提供发票 |
货源类别 |
订单 |
加工定制 |
是 |
结构 |
单捻(股) |
是否支持一件代发 |
支持 |
售后服务 |
全国联保 |
应用范围 |
光纤 |
运转方式 |
连续式 |
制作工艺 |
注塑 |
质保 |
三个月 |
快出货时间 |
1-3天 |
概述：
TMC继续在技术的基础上开发新的解决方案，以满足半导体工具对其隔振系统提出的挑战性要求。Stage-Base 450是专为带电动X-Y平台的半导体工具而设计的主要消振系统。这些工具不但需要极其有效的消振性能，它们还要求由平台引起的有效载荷运动能够非常快速地稳定，以大限度地提高工具吞吐量。通过增加带有前馈控制的VCM，可以缩短稳定时间，进一步提高吞吐量，从而为移动平台应用提供的主动振动和运动消除系统。
优势：
Stage-Base 450采用了下一代主动硬安装压电消振集成音圈技术。只有TMC可以提供这种特的低频消振串行型技术，通过使用音圈电机（VCM），实现了主动移动平台运动消除。
Stage-Base 450下一代主动控制系统采用TMC的STACIS技术，使用压电致动器和串行式架构中的刚性悬架实现了的消振。这实现了始于0.6 Hz的业内佳地面隔振，响应于平台力的初始偏转明显更小。
规格：
采用特的STACIS®技术
采用高力、加长行程的压电致动器
有效载荷的位置可重复性在微米以内
框架安装设计
6个主动自由度
可选的VCM前馈和/或反馈
始于0.6 Hz的主动隔振
响应平台运动的快速稳定时间
无软空气悬架
通过USB 2.0实现基于PC的图形用户界面（GUI）的高速数字控制器
简单、坚固且经济
最近来访记录
近期浏览
