淮安供应纳米白光干涉仪，AE-100M，万濠白光干涉仪

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淮安供应纳米白光干涉仪，AE-100M，万濠白光干涉仪

供应纳米白光干涉仪，AE-100M，万濠白光干涉仪

AE-100M
产品用途
结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，适合各种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含：玻璃镜片、镀膜表面、晶圆、光碟/影碟、精密微机电元件、平面液晶显示器、高密度线路印刷电路板、IC封装、材料分析与微表面研究等。
产品特点
● 纳米深度3D检测
● 高速、无接触量
● 表面形状、粗糙度分析
● 非透明、透明材质皆适用
● 非电子束、非雷射的安全量测
● 低维护成本
级的3D图形处理与分析软体（Post Topo）
● 提供多功能又具友好界面的3D图形处理与分析
● 提供自动表面平整化处理功能
● 提供高阶标准片的软件自校功能
● 深度、高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式
● 线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（Rorghness）与起伏度
● （waviness）的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据（Wafer）
● 区域分析方式提供图形分析与统计分析
● 具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（FFT）处理功能
● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出
高速精密的干涉解析软件(ImgScan)
● 系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹
● 垂直高度可达0.1nm
● 高度的分析算法则，让你不在苦候测量结果
● 垂直扫描范围的设定轻松又容易
● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择
● 平台XYZ位置数显示，使检标的寻找快速又便利
● 具有手动/自动光强度调整功能以取得佳的干涉条纹对比
● 具有的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择
● 具有专利的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌
● 具有自动布补点功能
● 可自行设定扫描方向
技术规格参数
型号 AE-100M
移动台(mm) 平台尺寸100*100 ，行程13*13
物镜放大倍率 10X 20X 50X
观察与量测范围(mm) 0.43*0.32 0.21*0.16 0.088*0.066
光学分辨力(μm) 0.92 0.69 0.5
收光角度(Degrees) 17 23 33
工作距离 7.4 4.7 3.4
传感器分辨率 640*480像素
机台重量(kg)/载重kg 20kg/小于1kg
Z轴移动范围 45mm , 手动细调
Z轴位置数字显示器 分辨力1μm
倾斜调整平台 双轴/手动调整
高度测量
测量范围 100(μm)(400μm ,选配)
量测分辨力 0.1mm
重复精度 ≤ 0.1％ (量测高度:>10μm)
≤10nm(量测高度1μm 10μm)
≤ 5nm(量测高度:<1μm )
量测控制 自动
扫描速度(μm/s) 12(高)
光源
光源类型 仪器用卤素（冷）光源
平均使用寿命 1000小时100W 500小时（150W）
光强度调整 自动/手动
数据处理与显示用计算机
中央处理运算屏幕 双核心以上CUP
影像与数据显示屏幕 17 " 双晶屏幕
操作系统 Windows XP(2)
电源与环境要求 AC100 --240 V 50-60Hz
环境振动 VC-C等级以上
测量分析软件
量测软件ImgScan ImgScan测量软件：具VSI/ PVSI/PSI 测量模式（PSI量测模式需另选配PSI模块搭配）
分析软件PosTopo
ISO 粗燥度/阶高分析，快速传利叶转换和滤波，多样的2D和3D
观测视角图，外形/面积/体积分析，图像缩放、标准影像文件格式转换
报表输出，程序教导测量等。