Alicat双向气体质量流量控制器
产品别名 |
ALICAT,双向质量流量控制器,质量流量控制器,气体质量流量控制器 |
面向地区 |
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精度等级 |
0.5级 |
一、Alicat双向气体质量流量控制器应用领域
双向测量气体的质量流量、体积流量、压力和温度
控制来自压缩气体或真空泵的气体的质量流量或体积流量
控制流经气体的压力或背压
控制密闭系统内压力(自带排气)
二、Alicat双向气体质量流量控制器产品优势
具备ALICAT常规产品所有的优势，如响应时间快，操作简单，控制精度高，重复性高等
三、Alicat双向气体质量流量控制器产品性能
标准性能
多功能数字显示屏
显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力
低压损
无需预热
Viton密封
8针mini-DIN电信号接口
标准圆形电源接口
RS-232多点式数字信号输入&输出
0-5Vdc、0-10Vdc、1-5Vdc或4-20mA 多种模拟信号输入&输出可选
可调节PID算法
内置30种气体可选
200:1 量程可调比
NPT接头
有条件的终身质保
可选性能
累加器
6针、DB9或DB15电信号接口
ProfiBUS数字信号输出
RS-485数字信号输出
第二种模拟信号输出
远程显示屏
EPDM密封
NeSSI本体
氧气清洁
SAE接头
VCR, VCO接头
5VDC、12VDC、24VDC排气量报警(过高或过低)
额外标
定制混个气体（多4种）
不锈钢阀门
集成式电位计控制
四、Alicat双向气体质量流量控制器产品参数
可控制从-0.5 ～ +0.5 SCCM 到-3000 ～ +3000 SLPM的满量程的任何流量，量程可调比为200：1
精度&重复性：±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.) (注：该处F.S.为双向满量程之和)
控制响应时间：＜100毫秒
大入口压力：145 psig (MCD & MCDS)、50 psig (MCDW)
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