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1200℃低真空CVD系统

更新时间:2017-01-05 11:28:29 信息编号:107352950
1200℃低真空CVD系统
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  • 煜志

  • 0~+1150℃

  • cvd 低真空

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详情介绍

产品别名
CVD系统
面向地区
品牌
煜志
温度范围
0~+1150℃

1200℃低真空CVD系统

一、产品简介
1200℃低真空CVD系统是由YGS-120610管式实验电炉,混气系统,真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃,通过滑动炉体来实现快速的升降温;配置不同的真空系统来达到理想的真空度;同时通过三路质量流量计控制不同气体。是为石墨烯生长、研发的炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
二、主要技术参数:
炉体结构 整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结构;
日本技术真空吸附成型的高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好
炉子底部装有一对滑轨,移动平稳
炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却
支撑两端安装油压缓冲器
炉盖可开启,可以实时观察加热的物料
电源 电压:AC220V 50/60Hz;功率:4KW
炉管 高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小
尺寸:Φ60*1200mm
法兰及支撑 SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空
一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷
可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑
包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合
加热系统 加热元件采用合金丝0Cr27Al7Mo2,表面负荷高、
加热区长度:300mm
恒温区长度:150mm
工作温度:≤1150℃
高温度:1200℃
升温速率:10℃/min
温控系统 温度控制采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能
30段升降温程序
测温元件:N型热电偶
恒温精度:±1℃
混气系统 三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制
内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀
管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套
每路气体进气管路配有不锈钢针阀
通过控制面板上的旋钮来调节气体流量
流量规格:0~1SLM
流量精度:±1.5%
真空系统 采用双极旋片真空泵,真空度可达10Pa
真空机械压力表+电阻真空计显示
可选高真空系统及真空计,压力控制系统等
可选配件 混气系统,中、高真空系统,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件,无纸记录仪,氧含量分析仪。

上海煜志机电设备有限公司 8年

  • 高温烧结设备,管式炉,马弗炉,pecvd
  • 上海市嘉定区朱戴路900号2幢A区

———— 认证资质 ————

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